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电子束蒸发是一种清洁的金属薄膜淀积工艺.如图所示,由热丝发射的电子经过聚焦、偏转和加...而在电子束蒸发中，待蒸发金属由电子束加热，局部熔化的金属不与热丝及容器接触，而且电子束偏转可以使从热丝蒸发出来的杂质分离出去，所以由电子束蒸发得到的 ...
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