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又称为光致抗蚀剂,是由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光灵敏的混合液体。...根据感光树脂的化学结构不同,光刻胶可分为3类:(1)光交联型。在光的作用下,其分子中的双键被打开,使链与链之间发生交联,形成不溶性的网状结构,而起抗蚀 ...
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光刻胶剥离制程为TFT-LCD中重要的制程,其剥离效果及洗净程度将直接影响TFT质量,本文主要阐述了TFT- LCD 生产中光刻胶剥离制程可影响产品质量的问题,并根据产线的情况对这些问题产生原因进行...
《文化产业》 2014年1期 关键词: "光刻胶剥离","Mura","腐蚀","光刻胶残留" 收藏
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