自顶向下
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上小钢轮螺钉～ curtain 加装窗帘,上层窗帘～ curve 上[统]口线～ cut ①顶部截

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自顶向下贯穿腐蚀制备空腔型FBAR的方法
牺牲层释放是空腔型薄膜体声波谐振器(FBAR)工艺中形成空腔结构的关键步骤，牺牲层释放的效果直接决定了空腔型FBAR的谐振特性。根据空腔型FBAR中气隙的功能和结构特点，提出了自顶向下贯穿腐蚀牺牲层制...

《压电与声光》 2014年5期关键词: "薄膜体声波谐振器(FBAR)","空腔型","牺牲层腐蚀","释放窗口","谐振仿真" 收藏