MEMS

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为了提高汽车行驶的安全性，设计了一种自动智能前灯系统模型。该系统采用MEMS三维加速度传感器，获取汽车运动参数，配合DSP处理器进行高速运算，控制前照灯照射方向，可以解决不同速度和运行方向条件下的汽车...

《宁波职业技术学院学报》 2011年2期 关键词: "前照灯","数字信号处理器","智能控制" 收藏

采用光刻、干法刻蚀、电镀等微机电系统( MEMS)工艺设计了一种新型的带磁芯的螺线管微电感。采用COMSOL Multiphysics有限元软件，计算了不同频率交流载荷下的等效电阻、等效电感和阻抗随频...

《压电与声光》 2014年2期 关键词: "微机电系统(","MEMS)","制作工艺","螺线管微电感","有限元模拟","COMSOL","Multiphysics" 收藏

针对经典Allan方差在分析和定量描述微机电系统(MEMS)陀螺仪噪声项时存在的问题，提出将动态Allan方差用于MEMS陀螺仪输出信号分析并加以改进。根据Allan方差的原理，实现误差项系数的动态辨...

《压电与声光》 2014年6期 关键词: "微机电系统(","MEMS)陀螺仪","动态Allan方差","随机误差","信号处理","单纯形法" 收藏

以有限元法为基础，对高阶兰姆波型微机电系统( MEMS)声表面波谐振器进行了仿真。研究了压电材料及其厚度、Si基底厚度对高阶兰姆波声速的影响规律，结果表明，AIN压电薄膜器件的高阶兰姆波的声速比Zn0...

《压电与声光》 2014年6期 关键词: "有限元法","声速","声表面波谐振器","高阶兰姆波","压电薄膜" 收藏

基于微机电系统( MEMS)工艺，设计并加工了一种“L”型微弹簧。根据经典材料力学理论进行的分析表明，在微弹簧竖直方向所受10 mN力的作用下，微弹簧内部最大应力为88. 75 MPa，且最大应力位于...

《压电与声光》 2014年3期 关键词: "微机电系统(","MEMS)","微弹簧","最大应力","拉伸实验","可靠性" 收藏

针对微机电系统( MEMS)陀螺随机漂移较大及量测信息中野值对滤波的不利影响，提出了一种抗野值自适应滤波降噪方法。该方法采用Allan方差信息估计量测噪声方差参数，避免了Kalman滤波器与量测噪声估...

《压电与声光》 2015年4期 关键词: "自适应滤波","微机电系统(","MEMS)陀螺","时间序列分析","Allan方差","野值" 收藏

对国内外众多学者提出的各种微几何量和微机械量的静态测试技术进行了总结，并讨论了其应用场合和测试范围，在此基础上分析得m非接触式光学测试方法受到众学者的青睐，微视觉测量是MEMS静态测试技术的一个主要发...

《佛山科学技术学院学报（自然科学版）》 2015年3期 关键词: "MEMS","静态测试","微几何","微机械","微视觉测量" 收藏

研究了一种基于微电子和微机械加工技术的六边形压电超声换能器阵列。依据活塞声源辐射声场特性，采用瑞利积分法计算了方形膜声压及指向性函数；运用惠更斯原理，仿真模拟了阵列远场声压分布。理论分析了阵元边长、阵...

《压电与声光》 2015年2期 关键词: "压电超声换能器","六边形阵列","远场分析","声压分布","指向性","数值仿真" 收藏

针对微机电系统( MEMS)加速度计零位漂移大的问题，研究了一种基于Birge-Massert(BM)阈值小波包降噪的广义回归神经网络对MEMS加速度计零位漂移进行非线性抑制的新方法。该方法首先利用B...

《压电与声光》 2015年1期 关键词: "微机电系统(","MEMS)加速度计","小波包","广义回归网络","非线性建模","零位漂移" 收藏

针对可穿戴设备中的微机电系统(MEMS)陀螺仪在检测人体姿态时面临的人体自然抖动噪声干扰、随机噪声干扰等问题，在基于卡尔曼滤波理论的基础上，提出了采用新息自适应卡尔曼滤波器，辅以有限冲击响应(FIR)...

《压电与声光》 2015年5期 关键词: "可穿戴设备","姿态测量","人体抖动噪声","加速度计","卡尔曼滤波器","滤波器组" 收藏