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以试样为阳极,在它与靶子(阴极)间电压的作用下,由于电离而产生的带正电的气体离子,以...1.溅射装置图2-4-22为溅射成膜装置示意图。图2-4-22离子溅射成膜装置为了避免气体离子与阴极材料发生不希望的反应，溅射室必须通入氩气或其它惰 ...
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