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利用工作气体电离形成等离子体的高温和等离子体中自由电子与正离子复合时释放的能量进行...也可以进行反应溅射，即将反应气体（O2、N2、H2S、CH4等）加入氩中，反应气体及其离子与工件原子和溅射原子发生反应生成化合物（如氮化物、氧化物）而 ...
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