声衬
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acoustic form board

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篮宝石衬底上氮化镓薄膜的声表面波特性研究
研究了蓝宝石上非掺杂GaN，p型GaN和p-GaN／n-GaN 3种薄膜材料的声表面波特性。在p型GaN薄膜中观测到中心频率分别为255 MHz和460 MHz的Rayleigh模和Sezawa模，插...

《压电与声光》 2014年3期关键词: "氮化镓薄膜","声表面波","集成" 收藏